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OLED制备手艺的研究是集多领域、多学科的综合性学术研究，它涵盖了半导体、化学、薄膜电子、真空物理、光学等 。OLED辽阔的生长远景也激活了海内各高校、研究所的科研事情者的热情 。嘉兴u乐国际电子针对OLED研究领域新开发了OLED系列等离子增强原子层沉积系统，为宽大OLED领域的研究者提供了一整套的实验操作平台息争决计划 。
该系统集成了红外同步原位监测仪和质谱仪，可以对薄膜生长历程中的情形气氛、金属源及非金属源的状态以及产品举行原位实时监测 。使研究职员可以直观的掌握薄膜的生长质量，减小实验操作的误差，缩短整个实验的时间长度 。
为了包管整个实验历程中的薄膜质量，包管薄膜不受情形中水氧的侵蚀 。该系统设计中将等离子增强原子层沉积系统的腔室与手套箱直接联通，包管实验全历程所有处于无水无氧的干燥条件下举行，坚持OLED器件处于最佳的性能状态 。
同时该系统可以无邪的集成其他OLED制备仪器，如：蒸发台、匀胶机等实验装备 。确保在实验历程中，将样品的转移和存放历程中周围情形的影响减到最小 。
嘉兴u乐国际电子在开发OLED系列PEALD装备的同时，也同步研究OLED的封装手艺 。现在水氧阻隔的封装薄膜手艺已经具有起源效果，期待与您分享OLED制造工艺中的每一次发明和前进 。
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粉末型（P-ALD）
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